對液態(tài)樹脂進(jìn)行光掃描曝光的方法通常有兩種,圖(a)所示是一種由計算機控制的X-Y平面掃描儀系統(tǒng),光源可以經(jīng)過光纖傳送到安裝在y軸臂上的聚焦鏡中,也可通過一組定位反光鏡將光傳送到聚焦鏡中,并通過計算機控制使聚焦鏡在X-Y平面運動,對液態(tài)樹脂進(jìn)行掃描曝光。
圖(b)所示是一種振鏡光掃描系統(tǒng),它是通過由振擺電機帶動的兩片反射鏡,根據(jù)控制系統(tǒng)的指令,按照每一截面輪廓的要求做高速擺動,從而將激光器發(fā)出的光束反射并聚焦于液態(tài)光敏樹脂表面,并沿此面做X-Y方向的掃描運動。激(a) X-Y軸掃描儀方式圖2-3 光掃描原理(b)振鏡掃描方式。
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